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2019

特种气体中其他60种高纯特种气体用途详细介绍（二）！

特种气体是由两大类气体组成的。一类为单元高纯气体,另一类为混合气体。到目前为止,特种气体中单元纯气体共有260种。特种气体门类繁多，通常可区分为电子气体、标准气、环保气、医用气、焊接气、杀菌气等，广泛用于电子、电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。

其中:

电子气体共114种,占总数的43.8%(实际常用的约44种);

有机气体共65种,占总数的25%;

无机气体共35种,占总数的13.4%;

卤碳素气体共29种,占总数的11%;

同位素气体共17种,占总数的6.8%。

特种气体

本文继续介绍其他60种高纯特种气体的用途：

61.四氟化硫-SF4,>98%,用于等离子干刻工序;氟化剂、表面处理剂。

62.四氟化硅-SiF4,>99.99%,用于化学气相淀积工序;制备氟硅酸及其盐类。

63.四氟化锗-GeF4,>99.999%,用于离子注入工序。

64.五氟化磷-PF5,>99.9%,用于离子注入、等离子干刻工序;另外,用作氟化剂,聚合、烃化及脱烃化反应、烃类裂化反应时作催化剂。

65.五氟氯乙烷-C2ClF6,(R-115),>99.99%,用于等离子干刻工序;另外,作冷冻剂、烟雾喷气剂。

66.五氟化砷-AsF5,>99%,用于外延、离子注入工序,氟化剂。

67.六氟乙烷-C2F6,(R-116),>99.99%,用于等离子干刻工序;用作冷却、冷冻剂和空调;单体生产的原料;化学反应中的添氟剂、电器设备的绝缘剂。

68.六氟化硫-SF6,>99.99%,用作标准气;用于化学气相淀积工序;由于在高电压下具有很高的电阻,用作电器设备的绝缘剂;检漏气体,实验室中作色谱仪的载气。

69.六氟化钨-WF6,>99.99%,用于化学气相淀积工序;强烈的氟化剂;也用作钨载体。

70.六氟化氧-(CF3)2O2,>99.99%,用于等离子干刻工序。

71.六氟乙酰-(CF3)2CO,>99.99%,用途同(70)。

72.六氟乙酞氧-(CF3CO)2O,>99.99%,用途同(70)。

73.六氟化铼-ReF6,>97%,用于离子注入工序;氟化剂。

74.八氟丙烷-C3F8,(R-218),>99.9%,用于等离子干刻工序;与氟利昂相混合作冷冻剂;高压电的绝缘剂。

75.八氟环丁烷-C4F8,(RC318),>99.99%,用于等离子干刻工序;用作冷却剂、冷冻剂;作电器和电子设备的气体绝缘。

76.十二氟戊烷-C5F12,>99.9%,用于等离子干刻工序;也可与CF4相混用。

77.三甲基铝-(CH3)3Al,>99.999%,用于化学气相淀积工序;金属的有机合成。

78.三甲基镓-(CH3)3Ga>99.999%,用途同(77)。

79.三甲基锑-(CH3)3Sb,>99.999%,用途同(77)。

80.三甲基锢-(CH3)3In,>99.999%,用途同(77)。

81.三乙基铝-(C2H5)3Al,>99.999%,用途同(77)。

82.三乙基镓-(C2H5)3Ga,>99.999%,用途同(77)。

83.四乙基铅-(C2H5)4Pb,>99.999%,用于化学气相淀积工序。

84.丙烯腈-C3H3N,>99.9%,用于等离子干刻工序。

85.1,1,2-三氯乙烯-C2HCl3,>99.99%,用作标准气、校正气、医疗气;用于半导体器件制备工艺中热氧化工序;另外,用于金属的脱脂剂和脂肪、油、石蜡等萃取剂,衣服干洗,冷冻剂,杀菌剂。

86.甲烷-CH4,99.999%,用作标准气、校正气、在线仪表标准气;作燃料、宇宙飞船中气体电池。

87.甲烷硫醇-CH3SH,>99.5%,用作标准气、校正气;用于有机合成;作为喷气燃料添加剂,杀真菌剂和蛋氨酸的中间体。

88.一甲胺-CH3NH2,>99%,用于硫化促进剂、药物、染料和炸药等,并作溶剂、有机合成、醋酸人造纤维。

89.甲醇-CH3OH,>99.9%,用作标准气,与空气混合后作校正气;用于制备甲醛和农药乡用于有机物质的萃取剂和酒精的变性剂。

90.二甲胺-(CH3)2NH,>99%,用作抗氧化剂;在溶液中作浮洗.剂、汽油稳定剂、橡胶加速剂等。

91.二甲醚-(CH3)2O,>99.9%,在化学工业中用作配制合成橡胶和甲硫醚;用作甲基剂、萃取剂、溶剂;也用作制冷剂。

92.乙炔-C2H2,>99.9%,用作标准气、校正气;化学工业中的中间体,如制备乙烯、乙醛、醋酸乙烯、氯乙烯、乙烯醚等;用于原子吸收光谱。

93.乙烯-C2H4,>99.99%,用作在线仪表标准气、标准气、校正气;是化学

工业合成中的重要原料,生产塑料的中间体,生产乙醇、醋酸、氧化乙烯、氯乙烯、乙苯等的原料;也用于焊接和切割、冷冻剂、某些水果、蔬菜生长的加速剂。94.氧化乙烯-C2H4O,99.9%,用作标准气、校正气、医疗气;与CO2、R11、R21相混合作消毒剂,文物保管,皮革消毒,清洗衣料均可采用;化学工业中用作中间体,生产液体或固体聚乙二醇、乙醇胺类等。

95.溴代乙烯-C2H3Br,>99.9%,用作有机合成的中间体,用聚合法与共聚法来制备塑料。

96.一乙胺-CH3CH2NH2,>99%,水溶液中含有70%乙胺,作为下列化学工业制备中的中间体:着色剂,电镀池、硫化增速剂等;还用于制药、表面活性剂、萃取剂。

97.四氟乙烯-C2F4,>99%,在生产塑料时作为一种重要的单体,如泰氟隆等。

98.乙醛-CH5CHO,>99.9%,用作校正气;用于制备酷酸、醋醉、醋酸乙酷、正丁醇、合成树脂等。

99.二甲基二硫醚-CH3S2CH3,＞99.9%,用作校正气、溶剂。

100.二甲基硫醚-CH3SCH3>99.9%,用作校正气、溶剂。

101.乙醇-C2H5OH,>99.9%,用作校正气;用于溶剂,制备染料、涂料、药物、合成橡胶等。

102.乙酰氯-CH3COCl,99.99%,用于乙酰化剂和化学试制。

103.1-羟亚乙基-1,1双磷酸-C2H8P2O7,>99.99%,简称HEDPA,用于特殊的洗涤、纺织漂白分离剂、磨料和环境卫生;在石油和气田中用作防腐剂。

104.环丙烷-(CH2)3,>99%,用于有机合成;医药上作麻醉剂。

105.甲基乙炔-C3H4>99%,用作在线仪表标准气、校正气;用于制备丙酮;化学工业中作合成中间体。

106.六氟丙酮-CF3COCF3,>99.9%,是强烈的反应气,常与脂肪酮发生化学反应,用这些酮类可制备不同的产品,如稳定的液体、溶剂、水泥、单体、共聚物,以及农业及药物产品。