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真空检漏技术是什么?都有哪些检漏方法?

真空检漏技术是什么?都有哪些检漏方法?

分类:
气体知识
发布时间:
2019/10/30 11:17

真空检漏技术就是用适当的方法判断真空系统、容器或器件是否漏气、确定漏孔位置及漏率大小的一门技术,相应的仪器称为检漏仪。在真空系统、容器、器件制造过程中借助真空检漏技术确定它们的真空气密性、探查漏孔的位置,以便采取措施将漏孔封闭从而使系统、容器、器件中的真空状态得以维持。

真空检测常用的有气压检漏、氨敏纸检漏、荧光检漏、高频火花检漏、放电管检漏和氦质谱检漏等多种方法。

标准漏孔:指在干燥空气中,保持漏孔一端压强标准,另一端压强低于1千帕的状态下,经过校准后确定漏率的漏孔。常用标准漏孔有玻璃毛细管漏孔、薄膜渗氦漏孔、玻璃-白金丝漏孔、金属压扁漏孔、多孔金属或陶瓷漏孔和放射性漏孔等。

气压检漏:被检零部件内腔充以气体,一般为空气,充气压力的高低视零部件的强度而定。充压后的零部件如发出明显的嘶嘶声,音响源处就是漏孔位置。如不能用声音直接察觉漏孔,则用皂液涂于零部件可疑表面处,有气泡出现处便是漏孔位置。此外,还可将充气的零部件浸在清净的水槽中,气泡形成处便是漏孔位置。用水槽显示漏孔,方便可靠,并能同时全部显示出漏孔位置。

气体检漏

气压检漏

氨敏纸检漏:将被检零部件内腔抽空后,充入压力为(1.5~2)×105帕的氨气,在可疑表面处贴上溴酚蓝的试纸或试布,用透明胶纸封住,试纸或试布上有蓝斑点出现,即是漏孔的位置。用这种方法可检漏率为7×10-4~106帕·升/秒的漏孔。

荧光检漏:将被检的零部件浸入荧光粉的有色溶液(二氯乙烯或四氯化碳)中,经一定时间后取出烘干,漏孔处留有荧光粉,在器壁另一面用紫外线照射,发光处即为漏孔位置。

高频火花检漏:这种方法仅适用于玻璃真空系统。先将系统抽成真空,高频火花检漏仪的火花端沿着玻璃表面移动,火花集中成束形成亮点处即是漏孔位置。

放电管检漏:将放电管接到系统上,并将系统抽成中真空,在高频电压作用下系统中残存气体(空气)产生紫红色或玫瑰色辉光放电。若在系统可疑表面处涂上丙酮、汽油、酒精或其他易挥发的碳氢化合物,有蓝色放电颜色出现之处便是漏孔位置。

真空检漏

真空检漏

氦质谱检漏方法:根据被检漏的零件的具体情况采用不同的方法。真空容器或器件常用喷吹法、氦室法和累积法。喷吹法是用喷枪对可疑部分喷氦气,找出漏孔的位置,但效率较低;氦室法可对大容器检漏,将可疑部分用氦室罩上充入氦气,可以找到漏孔的大致范围,但漏孔位置不能精确确定。氦室法检漏效率较高。对于微小漏孔,可采用累积法,即先用氦室对可疑部分充入氦气,再将检漏仪节流阀关闭,积累一定时间,打开节流阀,观察离子流的变化。这样,检漏灵敏度可提高1~2个数量级。

其他方法还有吸收法、背压法等。对于容积大、放气量大、漏率大的容器可采用反流检漏法,即将被检容器接在真空系统的扩散泵和机械泵之间,利用扩散泵的反流作用,使氦气反流到质谱室而进行检漏。我们青岛三因子气体公司也提供工业气体、高纯气体、特种气体、标准气体、混合气、液态气体;销售租赁低温储罐、快易冷、杜瓦罐、气体钢瓶;承接管道安装、吹扫等工程。热线:40009 63336