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电子特气是电子工业中有着什么样的作用

电子特气是电子工业中有着什么样的作用

分类:
气体知识
发布时间:
2021/01/12 17:42
电子特气是电子工业的关键原料,属于工业气体的重要分支。工业气体是现代工业的基础原材料,而电子特气是工业气体中附加值较高的品种,与传统工业气体的区别在于纯度更高(如高纯气体)或者具有特殊用途,是极大规模集成电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产中不可或缺的基础和支撑性材料之一,相关下游领域的快速发展将带动未来特种气体的增量需求。
 
半导体特气应用于晶圆制造的各个环节。狭义的“电子气体”特指电子半导体行业用的特种气体,主要应用于前端晶圆制造中的化学气相沉积、光刻、刻蚀、掺杂等诸多环节。电子特种气体的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性,对于半导体集成电路芯片的质量和性能具有重要意义。
电子特气
电子特气
半导体电子特气行业具有较高的技术壁垒。半导体电子特种气体在生产过程中涉及合成、纯化、混合气配制、充装、分析检测、气瓶处理等多项工艺技术,每一步均有严格的技术参数要求和质量控制措施。为了保证半导体器件的质量与成品率,特种气体产品要同时满足超纯和超净的要求,超纯气体纯度要求达到4.5N、5N甚至6N、7N(N是Nine的简写,几个N就代表有几个9,例如3N的纯度为99.9%。
 
对于混合气而言,配比的精度是核心参数,随着产品组分的增加、配制精度的上升,客户常要求气体供应商能够对多种浓度的气体组分进行精细操作,其配制过程的难度与复杂程度也显著增大。此外,气瓶处理、气体分析检测、气体配送等环节亦对生产企业提出了较高的技术要求。