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高纯六氟化硫气体作为电子特气的主要用途

高纯六氟化硫气体作为电子特气的主要用途

分类:
气体知识
发布时间:
2021/11/15 16:51

六氟化硫气体是种无色、无味、无毒和不可燃且透明的气体,在通常情况下有液化的可能性。广泛用于电子设备、雷达波导、粒子加速器、变压器、避雷器等的气缘体,制冷剂,示踪装置,医疗,半导体制造中的蚀刻、化学相淀积、标准气,检漏气体,色谱仪的载气。

六氟化硫气体主要用作电气缘介质和灭弧剂,在保证电力设备运行安可靠的同时,可使其尽量小型化,降低设备成本。六氟化硫可用于新代超高压缘介质材料。作为良好的气体缘体,被广泛用于电子、电气设备的气体缘。

电子高纯六氟化硫是种理想的电子蚀刻剂,广泛应用于微电子技术域,用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。

高纯六氟化硫

六氟化硫

六氟化硫目前是应用较为广泛的测定大气污染的示踪剂,失踪距离可达100公里。同时六氟化硫作制冷剂替代氟利昂,对臭氧层完没有破坏作用,符合环保和使用性能的要求,是种很有发展潜力的制冷剂。

六氟化硫可用于有色金属的冶炼和铸造工艺,防止镁及其合金熔融物氧化,也可用于铝及其合金熔融物的脱气和纯化。在微电子业中,可用六氟化硫蚀刻硅表面并去除半导体材料上的有机或无机膜状物,并可在光刀纤维的制造过程中,作为单膜光纤隔离层掺杂剂。加有六氟化硫的电流遮断器额定电压高,且不易燃烧。

另外,六氟化硫还用于各种加速器、超高压蓄电器、同轴电缆和微波传输的缘介质。