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2024

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高纯六氟化硫气体都适用于哪些行业?


六氟化硫是一种无机化合物,化学式为SF₆,常温常压下为无色无臭无毒不燃的稳定气体,六氟化硫分子结构呈八面体排布,键合距离小、键合能高,因此其稳定性很高,在温度不超过180℃时,它与电气结构材料的相容性和氮气相似。

电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂,广泛应用于微电子技术领域,用作电脑芯片、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。还可用作氮准分子激光器的掺加气体。在气象、环境检测及其他部门用作示踪剂、标准气或配制标准混合气。

六氟化硫

六氟化硫

在高压开关中用作灭弧和大容量变压器绝缘材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。此外还作为一种反吸附剂从矿井煤尘中置换氧。

可用于有色金属的冶炼和铸造工艺,也可用于铝及其合金熔融物的脱气和纯化。在微电子业中,可用六氟化硫蚀刻硅表面并去除半导体材料上的有机或无机膜状物,并可在光导纤维的制造过程中,作为单膜光纤隔离层掺杂剂。

六氟化硫由于其化学稳定性好和对设备不腐蚀等特点,在冷冻工业上可用作冷冻剂(操作温度-45~0℃之间)。由于对α粒子有高度的停止能力,还用于放射化学。

高纯六氟化硫

高纯六氟化硫

在医疗界,六氟化硫被用作麻醉剂。有研究称其麻醉效果比一氧化氮还要好。六氟化硫气体穿过橡胶膜的能力比空气低得多,所以它被用作气体填充物,用来填充网球、鞋垫。

由于六氟化硫在水中和空气中十分稳定并且在空气中含量极少,被科学家用做示踪剂,监控海水的流动以及空气污染物的扩散。六氟化硫具有良好的绝缘性,因此在工业上被用作电介质和绝缘体,尤其是在高压电路中。

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