准分子激光气体

气体介绍：

混合气

工业技术的升级转型需要平衡日益增长的性能需求与加工速度及制造成本之间的矛盾。准分子激光的诞生，以其高光子能量所称著，在对突破材料限制需求越来越迫切的时代，准分子激光器再次站在了尖端工业激光解决方案的最前沿。作为当今最有效、最可靠的脉冲紫外激光技术的代表，准分子激光器有效地推进了诸如半导体、AMOLED平板显示、薄膜、硅底板加工、有机金属沉淀、高温超导、刻蚀、材料研究、汽车制造、生物医疗、光纤、钻石打标设备及可替代能源等多种成长型工业中的技术革新。

咨询热线：

40009 63336

产品留言

一、产品名称

产品名称：准分子激光气

其他名称：氟化氩激光气体（193nm）；氟化氪激光气体（248nm）；氯化氙激光气体（308nm）

二、产品简介

分子式：ArF、KrF、XeCl

UN NO：UN 1956

产品纯度：99.9999％

三、包装说明

钢瓶容积： 11L，16L，20L，49L，50L

阀门型号：CGA679，DIN 8，DIN 14

四、产品指标

高功率准分子激光气体

可用波长 193 nm ArF

248 nm KrF

308 nm XeCl

450nm~520nm XeF

最大紫外功率 540 W

最大紫外能量 1100 mj

重复频率可变， 1~600 Hz

脉冲稳定性 0.5%~1%，rms

长期漂移 0.1%~0.5%，rms

光束分布均匀，平顶

脉冲宽度 10~20 ns

相关气体纯度 F2, 99.9%

Ar, 99.9999%

He, 99.9999%

Ne, 99.9999%

HCl, 电子级

Kr, 99.999%

Xe, 99.999%

O2, 99.999%

H2, 99.999%

气体工作温度 - 40 0C ~ + 74 0C

气体压力 520 psig ~ 2400 psig / 35 Bar ~ 167 Bar

钢瓶规格 10L、16L、20L、50L

阀门接口 CGA 679、CGA 330、CGA 580、DIN 6、DIN 8、DIN 14

五、包装规格

序号	产品	状态（气象或液相）	容器（L或m³）	工作压力（MPa）	容器高度（不包括瓶阀、瓶帽）mm	容器空重（不含瓶阀、瓶帽）kg	充装量（压力或重量）MPa或kg	供应模式	品牌
1	准分子激光气体	气态	4L（Φ140）	15MPa	395	7.1	10-15MPa	采用钢瓶或铝合金气瓶供应	奔逸
2	准分子激光气体	气态	8L（Φ140）	15MPa	680	11.5	10-15MPa
3	准分子激光气体	气态	10L（Φ159）	15MPa	671	13.5	10-15MPa
4	准分子激光气体	气态	15L（Φ159）	15MPa	956	19	10-15MPa
5	准分子激光气体	气态	20L（Φ219）	15MPa	715	23	10-15MPa
6	准分子激光气体	气态	40L（Φ219）	15MPa	1315	48	10-15MPa
7	准分子激光气体	气态	50L（Φ219）	15MPa	1510	66	10-15MPa
8	备注	因容器设计压力等差异，以上数据略有出入，请知悉。详情请联系40009 63336或18563963366。

六、准分子激光气应用

七、注意事项

准分子激光气体为高压充装气体，使用时应经减压降压后方可使用。包装的气瓶上均有使用的年限，凡到期的气瓶必须送往有部门进行安全检验，方能继续使用。每瓶气体在使用到尾气时，应保留瓶内余压在0.5MPa，最小不得低于0.25MPa余压，应将瓶阀关闭，以保证气体质量和使用安全。瓶装气体产品在运输储存、使用时都应分类堆放，严禁可燃气体与助燃气体堆放在一起，不准靠近明火和热源，应做到勿近火、勿沾油腊、勿爆晒、勿重抛、勿撞击，严禁在气瓶身上进行引弧或电弧，严禁野蛮装卸。

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