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详细介绍

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氢氮混合气


气体介绍:

混合气

概述在电子器件生产工艺中,广泛使用了各种高纯气体。按工艺中高纯度气体的不同用途,可将其分为保护气、反应气和载气。用作保护气的有氢气、氮气、氩气及其混合气。在国内,为获取氢气和氮气,一般使用厂家都设有氢氧站和氮氧站。为获得较高纯度的氢气,氢氧站一般都采用电解纯水的方法制取。这种方法需用大量电能来电解水,一般达4.5~5.5kWh/Nm~3H_2,致使成本很高。为减少电能消耗,降低成本,国内外均在研制和应用各种混合气。其中,以应用氮—氢混合气为最多。国外多采用液态氢和液态氮汽化法获得氮氢混合气,也有采用液氨分解法获得氮氢混合气的。
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