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详细介绍

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氟氦混合气体


气体介绍:

混合气

氟氦混合气作为准分子激光发生器的主要原料气体,广泛应用在临床医学以及科学研究与工业应用方面的准分子激光系统,如:钻孔、标记表面处理、激光化学气相沉积,物理气相沉积,磁头与光学镜片和硅晶圆的清洁等方面,微机电系统相关的微制造技术。
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